通過程序方式控制MBE系統(tǒng)中的蒸發(fā)源和樣品溫度,shutter開關;記錄真空、溫度等實驗數據。
● 可控制溫度、氣體流量、電機,讀取溫度和真空計
● 支持實驗配方的編輯、預覽、導入和導出
● 可對單獨蒸發(fā)源進行控制,或對系統(tǒng)所有蒸發(fā)源進行控制
● 可針對不同蒸發(fā)源設定參數
● 數據庫管理實驗數據,可導出為通用格式
● 自動保存實驗數據,防止斷電后數據的丟失
分子束外延生長程控系統(tǒng)(MBE Controller)
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