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● 無差分泵Z方向旋轉(zhuǎn),保證在旋轉(zhuǎn)過程中不漏氣

● 液氮直接制冷,制冷效率更高

● X軸偏轉(zhuǎn)緊湊設(shè)計,性能更可靠

● Z軸運動低阻尼設(shè)計,使用更省力穩(wěn)定.

● 采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,運動平穩(wěn),保證每軸運動的直線度,無偏擺,俯仰

● 可選Z軸恒力彈簧,消除外界壓力,使操作流暢

● 測微頭驅(qū)動,定量讀數(shù),達(dá)到高的調(diào)整精度


五軸樣品操作臺(Manipulator)