● 結(jié)構(gòu)緊湊,集成水冷和擋板
● 蒸發(fā)源長度可定制
● 水冷水阻低(2 x 106Pa.s/L) ,能使用較低的循環(huán)水壓,制冷效率高
● 本底真空低,1000°C背景真空優(yōu)于1.3 X 10-10 mbar, 1200C背景真空優(yōu)于4.5x 10-10 mbar
● 一體成型接口法蘭,無焊接漏氣風險,定位更準確
● 活動不掉落法蘭,安裝調(diào)整方便,防止刀口損壞
● 溫度范圍廣:全系列覆蓋室溫~1800°C
● 特制耐氧蒸發(fā)源可以耐受高 氧氣壓力1 x10~3 mbar
● 可配置自動擋板和程序控制系統(tǒng)
MBE蒸發(fā)源(Knudsen Cell)