分子束外延的英文縮寫(xiě)為MBE,這是一種在晶體基片上生長(zhǎng)高質(zhì)量的晶體薄膜的新技術(shù)。在超高真空條件下,由裝有各種所需組分的爐子加熱而產(chǎn)生的蒸氣,經(jīng)小孔準(zhǔn)直后形成的分子束或原子束,直接噴射到適當(dāng)溫度的單晶基片上,同時(shí)控制分子束對(duì)襯底掃描,就可使分子或原子按晶體排列一層層地“長(zhǎng)”在基片上形成薄膜。
分子束外延不僅可用來(lái)制備現(xiàn)有的大部分器件,而且也可以制備許多新器件,包括其它方法難以實(shí)現(xiàn)的,如借助原子尺度膜厚控制而制備的超晶格結(jié)構(gòu)高電子遷移率晶體管和多量子阱型激光二極管等。我們?cè)诠?chē)上看到的車(chē)站預(yù)告板,在體育場(chǎng)看到的超大顯示屏,其發(fā)光元件就是由分子束外延制造的。
上一篇:分子束外延原理及特點(diǎn)
下一篇:分子束外延原理及特點(diǎn)